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MEMS热式质量流量传感器是一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的流量测量设备

发布时间:2023-11-27 点击数:135
MEMS热式质量流量传感器是一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的流量测量设备,利用热传感器测量流体的质量流量。其工作原理是基于热传导效应和流体流经热敏电阻引起的温度变化。 热式质量流量传感器通常由两个热敏电阻组成,一个作为加热电阻,另一个作为测量电阻。当流体通过EPM3128ATI100-10N传感器时,加热电阻会发出一定的热量,流体的质量流量会冷却测量电阻,从而改变测量电阻的电阻值。通过测量电阻的电阻值变化,可以推导出流体的质量流量。 MEMS热式质量流量传感器具有以下优点: UDA单双张检测系列 RAYCOH 锐科智能 XJC-H25 鑫精诚传感器 TKJW100A1 南方泰科 SC783 Senksemi 兴感半导体/兴工微/兴宙微 MPY20-HC 丙烷 MFrontier 美思先端 广告 1、高精度:由于采用了微型化的热敏电阻,传感器具有较高的灵敏度和响应速度,可以实现高精度的质量流量测量。 2、小型化:MEMS技术的应用使传感器的尺寸大大缩小,可以方便地集成到各种流体系统中,适用于微型流体流量测量。 3、快速响应:由于热敏电阻的快速响应特性,传感器可以实时监测流体的质量流量变化,适用于需要快速响应的应用场景。 4、低功耗:传感器的功耗较低,适用于需要长期稳定工作的应用。 MEMS热式质量流量传感器的应用广泛,包括但不限于以下几个方面: 1、工业流量测量:MEMS热式质量流量传感器可以用于工业流体的质量流量测量,如石油化工、制药、食品加工等领域。 2、汽车行业:传感器可以用于汽车燃油流量测量,实时监测车辆燃油消耗,并提供相关的燃油经济性分析。 3、空气质量监测:传感器可以用于空气质量监测,如室内空气质量、大气污染等领域。 4、医疗设备:传感器可以用于医疗设备中的流体流量测量,如呼吸机、输液设备等。 5、环境监测:传感器可以用于环境监测中的水流量测量,如河流、湖泊水量监测等。 总之,MEMS热式质量流量传感器是一种高精度、小型化、快速响应的流量测量设备,具有广泛的应用前景。随着MEMS技术的不断发展和成熟,传感器的性能将进一步提升,应用领域将更加广泛。 --------------------- 作者:中国IC网 来源:传感器专家网 原文:https://www.sensorexpert.com.cn/article/299752.html 版权声明:本文由传感器专家网整理发布,转载请注明出处和链接!
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