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松下 边缘检测传感器 LD(光/透过型)

  • 可轻松测量外径
  • 产品型号:LD
  • 产品品牌:松下
  • 供应商:松下
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可轻松测量外径

激光式边缘检测传感器 LD
CE※1 FDA※2
※1 EMC指令
※2 仅限LD-601

 

用途

检测晶圆的偏心、凹槽
检测晶圆的偏心、凹槽
小零件的高度判
小零件的高度判

 

测量管子外径
测量管子外径

 

高精度测量

投光元件采用红色半导体激光,受光元件采用CCD。通过发射理想的平行光线,可实现高精度测量。

高精度测量

备有符合FDA标准的产品

备有符合FDA标准(2级)的LD-601型产品。

 

无需安全措施

 

由于使用的是JIS/IEC标准的“1级”激光,因此无需防护用具等安全措施。

 

无需光轴调整

投光・受光部一体型、无需繁琐的光轴调整。

稳定检测

配备使灵敏度均匀分布的暗影修正功能,可对受光灵敏度的差异进行修正。可进行长期稳定的测量。

适合各种各样用途

通过4种检测形态输出测得的二进制数据,可适合各种各样的用途。

(1)宽度测量·暗模式

测量被测范围自下而上的第1个暗区。

(1)宽度测量·暗模式

(2)宽度测量·亮模式

测量被测范围自下而上的第1个亮区。

(2)宽度测量·亮模式

(3)边缘测量·暗模式

检测被测范围自下而上的第1个暗边缘,并测量从暗边缘到被测范围上端的宽度。

(3)边缘测量·暗模式

 

(4)边缘测量·亮模式

检测被测范围自下而上的第1个亮边缘,并测量从亮边缘到被测范围上端的宽度。

(4)边缘测量·亮模式

 

检测头

检测头

 

控制器

控制器
检测头与控制器必须配套使用。

 

可选件

DIN导轨转接器

MS-DIN-IDC

 

检测头

型号 LD-600 LD-601
组合控制器 LD-C60
投光・受光部间距 40mm(固定)
检测宽度 15mm(光束宽度:20mm)
最小检测物体 φ0.5mm
分解能 11μm
扫描时间 约0.6ms
投光元件 红色半导体激光1级
(JIS/IEC标准)
(最大输出:0.2mW、
投光波峰波长:670nm)
红色半导体激光II级
(FDA标准)
(最大输出:0.2mW、投光波峰波长:670nm)
(JIS/IEC标准:1级)
电源指示灯 红色LED(通电时亮起) -
激光投光指示灯 - 绿色LED(激光投光时亮起)
使用环境温度 0〜+40℃(注意不可结露)、存储时:-10〜+60℃
使用环境湿度 35〜85%RH、存储时:35〜85%RH
外壳接地方式 C(电容器)接地
材质 投光部外壳:锌压铸件
受光部外壳:铝、基座:铝、顶部外罩:PPO
正面保护罩:玻璃
电缆 6芯(0.22mm2×4芯、0.18mm2×2芯)合成单侧
带连接器橡皮电缆,长1m
重量 本体重量:约420g
附件 M4(长12mm)内六角
螺栓:2个
M4(长12mm)内六角
螺栓:2个、激光衰减器:1个

 

(注1):无指定的测量条件为使用环境温度=+20℃。

控制器

型号 LD-C60
适用检测头 LD-600、LD-601
检测形态 宽度测量、边缘测量
测量精度 宽度测量:±44μm、边缘测量:±22μm
电源电压 24V DC±10% 脉动P-P10%以下
消耗电流 250mA以下(含检测头)
输入(REQ、SHD) 信号条件:Low…0〜1V
     High…5〜30V或断开
外加电压:30V DC以下
输出(ACK、D0〜D10) NPN开路集电极晶体管
・最大流入电流:20mA
・外加电压:30V DC以下(输出和0V之间)
・剩余电压:1V以下(流入电流为20mA时)
  输出动作 ACK:数据输出时ON、D0〜D10:像素数二进制输出
反应时间 1.2ms以下


电源 红色LED(通电时亮起)
REQ 红色LED(REQ输入Low时点灯)
ACK 红色LED(ACK输出ON时点灯)
测量值显示 4位LED(文字高8mm)
  显示分辨率 10μm
使用环境温度 0〜+40℃(注意不可结露)、存储时:-10〜+60℃
使用环境湿度 35〜85%RH、存储时:35〜85%RH
材质 外壳:ABS、前面板:ABS
显示面板:聚碳酸酯、端子罩:聚碳酸酯
重量 本体重量:约230g
附件 连接器:1个

 

(注1):无指定的测量条件为使用环境温度=+20℃。

本产品为JIS/IEC标准的1级激光产品。该产品存在一定危险,请勿通过透镜等观察光学系统进行观察。

 

LD-600

 

LD-601

检测头

LD-600 LD-601

(注1):LD-601型为激光投光指示灯(绿色)。

LD-C60

控制器

LD-C60

 

MS-DIN-IDC

DIN导轨转接器(另售)

MS-DIN-IDC
附带2个带垫圈的M4螺丝(长12mm)。
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